"光滑"是指多光滑？

那 “超光滑” 呢？

玻璃窗 光滑 嗎? 

汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的承壓密封面 光滑 嗎? 

手機(jī)攝像頭的鏡頭透鏡 光滑 嗎?

光學(xué)，機(jī)械，電子精密制造商，都在關(guān)注那些 高精度、高性能，尺寸可能卻很小的關(guān)鍵組件，這些組件對(duì)終端產(chǎn)品的性能至關(guān)重要，常常關(guān)乎一家公司在市場(chǎng)上的生存。

對(duì)于這些關(guān)鍵組件的關(guān)鍵面，"光滑"是指多光滑？這個(gè)問題弄清楚，很重要。

-光滑，超光滑表面的計(jì)量

有各種工具和方法，用于計(jì)量“光滑”表面；從觸針輪廓儀到原子力顯微鏡，以及非接觸式光學(xué)計(jì)量設(shè)備。

·             觸針式輪廓儀，通過在樣品上沿路徑運(yùn)行的觸頭，來(lái)提供粗糙度結(jié)果，它只提供沿路徑的2D輪廓結(jié)果，而且會(huì)損壞它所測(cè)量的表面;

·             原子力顯微鏡(AFM),使用一個(gè)非常小的懸臂探針，使其靠近樣品，檢測(cè)**和樣品之間的作用力。原子力顯微鏡(AFM）可以提供納米級(jí)的分辨率，但測(cè)量過程耗時(shí)、探針消耗成本高、測(cè)量表面的區(qū)域范圍有限；

·     非接觸光學(xué)計(jì)量方式，以光為媒介，基于光學(xué)技術(shù)來(lái)感知表面，可以避免接觸被測(cè)表面。

-超光滑表面計(jì)量

超光滑表面計(jì)量需要 相干掃描干涉技術(shù)CSI（Coherent Scan Interferometry）。

并非所有的非接觸光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，都能達(dá)到測(cè)量超光滑表面，所需的 埃級(jí)別 重復(fù)性和精度，認(rèn)識(shí)到這一點(diǎn)很重要。

例如，共聚焦顯微鏡是基于Z軸掃描時(shí)，光強(qiáng)信號(hào)的變化，直接判斷位置信息的。這種共聚焦技術(shù)的縱向分辨率，和物鏡數(shù)值孔徑NA值關(guān)聯(lián),能測(cè)試的*光滑表面的RMS值，在幾納米級(jí)別。同時(shí)共聚焦顯微鏡，更適用于粗糙和高度傾斜的表面，對(duì)平滑無(wú)特征的表面，就不那么有效。

另一種光學(xué)檢測(cè)技術(shù)，相干掃描干涉(CSI Coherent Scan Interferometry)，利用光學(xué)干涉的原理，分析白光干涉掃描的條紋光強(qiáng)以及相位信息。正是深入到干涉相位的分析，才使CSI技術(shù)能測(cè)試的*光滑表面的RMS值，達(dá)到 優(yōu)于埃，小于0.1納米級(jí)別。同時(shí)這一分辨率和物鏡NA值無(wú)關(guān)，能夠測(cè)量用于粗糙和異常光滑表面。

與共焦和其它非接觸技術(shù)相比，CSI具有以下幾個(gè)優(yōu)勢(shì):

·     基于CSI技術(shù)的光學(xué)輪廓儀，在使用各種物鏡，所有放大倍數(shù)下，都具有納米級(jí)或亞納米級(jí)精度。

·     基于CSI技術(shù)的光學(xué)輪廓儀，能快速高速掃描，在所有放大倍數(shù)下，在幾秒鐘內(nèi)得到數(shù)百萬(wàn)像素的高度信息。

·     CSI可用于超光滑（亞納米粗糙度）或光學(xué)透明的表面，也可測(cè)量具有透明光學(xué)薄膜的表面。

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ZYGO光學(xué)輪廓儀，提供的符合ISO 25178,  ISO 4287/4288及其他標(biāo)準(zhǔn)的各類表面計(jì)量結(jié)果。

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